近日，安徽省工業和信息化廳發布2026年度第一批安徽省首臺套重大技術裝備擬評定名單，國儀量子技術（合肥）股份有限公司自主研發的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB550成功入選并獲“國際先進、實現自主供應能力”評定。

在納米尺度的研究和分析中，研究人員往往不僅要看清樣品表面或內部的細微結構，還要在目標位置完成切割、減薄、沉積或樣品提取。將觀察與加工置于同一平臺，有助于縮短樣品轉移和重復定位的流程。

聚焦離子束電子束雙束顯微鏡將電子束觀察與離子束加工集成于同一平臺。電子束可用于樣品表面及截面的微觀形貌觀察；離子束則可用于定點切割、刻蝕、沉積、減薄等納米加工操作。二者協同，使研究人員能夠在同一設備上完成“觀察—定位—加工—再觀察”的連續工作流程。

在半導體失效分析、先進封裝、新能源材料、金屬材料及器件研發等場景中，FIB是連接宏觀問題與微觀證據的重要工具。以先進存儲器分析為例，隨著3D NAND堆疊層數不斷提升，對大尺寸截面加工和超薄樣品制備的均勻性提出了更高要求。國儀量子此前發布的應用驗證顯示，DB550完成了覆蓋200余層堆疊結構、橫向尺度超過10μm的大尺寸超薄截面制備，并通過多模式成像對加工結果進行了驗證。